透明导电氧化物薄膜在电子信息技术、光电技术、新能源技术以及国防技术中被广泛应用。其中,锡酸盐薄膜透明性能较好,但导电性较差,在过去长期的研究中,仍无法获得导电性能良好的锡酸盐薄膜。
基于此研究背景,我校电子工程与智能化学院吴木营教授课题组采用了三明治结构的方法,利用磁控溅射沉积技术在柔性材料基底上制备出了BaSnO3/Ag/BaSnO3多层透明导电薄膜。通过研究制备工艺,最终制备出性能优良的透明导电薄膜,平均透过率在可见区域超过87%,电阻率达到9.66×10−5Ω·cm。该研究成果为发展锡酸盐透明导电薄膜提供了一种新的研究思路和方法。
该研究成果“High quality transparent conductive Ag-based barium stannate multilayer flexible thin films”发表在《Scientific Reports》上。该刊物为中科院JCR数据库中的SCI二区刊物、我校T类三级刊物、影响因子为4.259。